エキシマーレーザ用ホモジナイザ

エキシマーレーザ用ホモジナイザは、レーザビームを入射するだけで容易に均一なエリアを作り出すことができます。正方形や長方形などのタイプがあります。シンプルなオプティクスで構成されているため、安価でありながら丈夫であるという利点があります。

[オプション]
サイズを変更するとき	：レンズを追加します
エッジを立たせるとき	：マスクとレンズを追加します
均一度を上げたいとき	：シリンドリカルレンズとコリメーターレンズを追加します

＜図３　スリットビームの分布例＞