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フェムト秒レーザ用ファイバー伝送システム
本光学系は高出力フェムト秒レーザ光をファイバー伝送してワークへ照射加工できるユニットです。フェムト秒レーザ装置の設置場所から離れた場所での加工ができるようになりました。振動の影響を受けにくく、非熱微細加工が簡単にできます。偏光を利用 した加工も可能です。また、ファイバーカップリング点もレーザ加工点もモニターできます。
[構 成]
a ) ファイバーカップリングユニット
b ) 真空対応光ファイバー
c ) フェムト秒レーザ対応加工鏡筒
[特 徴]
①約７５％スループットで照射が可能です
②高エネルギー６０μＪパルスの入射ができます
③高出力２Ｗ以上送信可能です
④偏光が利用できます（直線 円 ランダム）
⑤３００フェムト秒対応します
[仕 様]
スループット ： ７５％（代表値）－対物レンズ入射前
＊フェムト秒レーザ出力例
レーザ出力 ２０μＪ/pulse@100kHz（平均出力 ２Ｗ以上）
使用レーザ条件
レーザ波長 ： ９００ｎｍ～１１００ｎｍ
最大入射パルスエネルギー ： ６０μＪ以下
最大入射パワー ： ４Ｗ以下
パルス幅 ： １０ps～３００フェムト秒
詳しくは、こちらをご覧下さい。