ベッセルビーム光学系

レーザービームをレンズで集光するのに比して非常に広い範囲で同一形状のビームプロファイルを得ることができます。

[特　　徴]
a)焦点深度が広いレーザービームを単純にレンズで集光するのに比較して非常に広い範囲で同一形状のビームプロファイルで集光します。試料間の距離を大雑把な設定をしても加工できます。オートフォーカスを使っているシステムでは、これをなくすこともできます。また、ステージの精度を低いものでも使えます。作動距離20mm 可変距離±2mm


b)入射ビーム形状に依存しにくいレーザービームをある程度距離飛ばすと楕円ビームになることがあります。これをレンズで集光すると楕円の影響が出ることがあります。ベッセルビーム光学系ですと集光形状が円形になります。